东莞市清溪利成感光五金厂本厂主要做曝光显影工艺,平面、圆弧面、凹凸面、喷砂1氧2氧阳极、五金丝印.五金腐蚀等产品加工,有多年经验,有需要以上的工艺欢迎您的到来参观和洽谈,可免费打。
显影的主要过程如下:对准曝光一曝光后烘一显影一坚膜一显影检测。
曝光后烘(PEB)
曝光后应尽快进行显影步骤中的烘干处理,从而有效降低驻波效应的影响,这是由于曝光过程中,入射光和反射光会
产生相互干涉,其光强会沿着胶体水平方向形成波纹形状,即驻波。
目前通常采用曝光后立刻烘干方式,即PEB ,减少驻波效应带来的影响。
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坚膜( HB Hardbake)
坚膜也称为硬烘,是对显影后的光刻胶加热烘干,促使光刻胶与硅片粘着牢固,并且没有发生形变。坚膜阶段的温度一般控制在100-120℃之间,若加热温度过高会使得光刻胶软化,如图4所示,并导致后期去胶困难。
一般使用热板或烘箱来控制温度变化。
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蚀刻加工中,显影工作非常重要,它是确定产品外形精度的决定因素,若曝光不到位,产品就不能得到设计的形状,影响产品的功能与性能。因此需要选择合适的曝光机来进行加工,深圳鑫海森自成立以来,主要专注于精密蚀刻加工的生产,更多的是外贸业务,金属蚀刻加工产品质量要求较高,因此鑫海森购入国外进口曝光机及自动化蚀刻加工设备6条,为客户提供更好的加工质量,满足客户各批量精密零件蚀刻加工需求。所用材料就是如图所示的感光油墨,它既克服了明胶和聚乙烯醇掩膜制造时“熬胶”和“摇胶”的麻烦以及明胶掩膜不牢的弊端,又继承了其直接曝光显影可以取得精细图文的优点。