平移台主要应用的领域
平移台采用日本松下100W或200W交流伺服电机并换装弹性联轴器,可实现高分辨率、高速、低振动、低噪音的精密电控平移台.主体材料采用经过特殊工艺制备的合金铝,通过我公司特有的精密磨削加工技术,保证每100mm行程范围内直线度小于10μm、平直度小于15μm,使得该系列电移台的整体质量达到国内水平.产品系列化程度高、通用性强、组合方便,适用于各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等领域,是的电移台产品.
平移台的特点
①为了保证整体性能稳定,采用的是加厚铝合金底座,基准面也是经过精密磨削的。
②内部配置了进口的超高精密光栅尺,闭环分辨率能达到0.1μm。
③滚珠丝杠采用的也是进口的超高等级别的,所以精度超高。
④采用进口超高等级交叉滚柱导轨,具有超高运动性能。
⑤采用三相步进电机,对降低电移台运行时的振动和噪音极为有效。
平移台
压电马达驱动; 无回程间隙,内具刹车功能; 纳米级高分辨率及精度; 毫秒至亚毫秒级快响应速度,速度可达300毫米/秒; 长行程,理论上无行程限制; 超薄设计,结构紧凑; 无磁,无油,无电磁干扰,真空兼容; 广泛应用于半导体设备、微纳加工、光电试验、生物疗治等领域。
压电马达驱动;
无回程间隙,内具刹车功能;
纳米级高分辨率及精度;
毫秒至亚毫秒级快响应速度,速度可达300毫米/秒;
长行程,理论上无行程限制;
超薄设计,结构紧凑;
无磁,无油,无电磁干扰,真空兼容;
广泛应用于半导体设备、微纳加工、光电试验、生物疗治等领域。