净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,(21世纪)在电子信息、半导体、光电子、精密制造、卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。目前级别的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。净化车间另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。
近几年来,由于技术之创xin发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各guo在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领地位。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题,并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中,而其中有一部分变成凝结水排放出来。学微电子净化工程一般包括:1、 洁净生产区2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
要充分了解业主拟采用的生产工艺、工艺设备情况和对工艺布局的设想。并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用。在此之后,设计人员应协同业主确定洁净厂房各功能区的区划,确定各类生产工序(房间)的空气洁净度等级和各种控制参数——温度、相对湿度、压差、微振动、高纯物质的纯度及杂质含量;初步选择洁净室净化工程的气流流型并进行净化空调系统的初步估算及设计力案的对比、确定;进行洁净厂房的平面布置、空间布置,此时必须首先安排好产品生产区与个产辅助区t动力公用设施区的合理布局,通常是顺应产品的生产工艺硫程,在确保产品生产环境要求的倩况下做到有利于产品生产的操作、管理,有利于节约能源、降低生产成本。