一般干式真空泵的同步齿轮，在装配需要满足以上质量外，有些干式真空泵还有一些特殊的要求，比如说爱德华罗茨真空泵，它的两个转子互为共扼的型线架构，同时转子之间也是不相互接触的，因此它的所以动力来源都是这双同步齿轮的带动。
因此，保证转子的精度啮合外，齿轮精度啮合一样重要，这对我们真空泵维修以及新泵组装带来一定难度。这就要求我们在把转子啮合装配好后，应当把具体的位置先固定下来，在装配时h加以标识，这样才能更为准备清晰的把螺钉锁紧以及保证定位销的安装到位，只有这样才能保证齿轮之间，转子之间的啮合的精度，不然会因为齿轮以及转子间隙的不平衡导致泵浦异常运作。
技术
Edwards 的 Stokes Microvac 泵是一款 独立的油封滑阀泵，其低转速、大间隙的设计 可实现更长的使用寿命。一种新的密封阀设计， 改进了 O 形圈密封区域，全封闭的风冷却式电机确保 噪音更低、耗电更少，并且为客户延长了维修时间间隔。较低 转速可减少活塞和滑动部件的损耗，从而延长 使用寿命，并增强处理微粒应用的能力。
一体化的 油分配系统不再需要外部管道， 通过的设计实现无泄漏运行。泵活塞通过一个偏心件安装在主传动轴上， 并通过两个自由摆动的铰接杆 进行支撑。活塞旋转时，空气通过活塞滑块进入泵内。当 活塞达到顶部中央位置时，进气口关闭， 捕获的空气随后被压缩，并随着活塞的继续旋转通过排气阀排放， 然后从舱室的排气出口排出。
应用
性能可以说明一切。Stokes Microvac 一直受到诸多加工应用的青睐，包括要求 严苛的重型应用。
汽车
涂层
化学加工
一般应用
热处理
泄漏检测
冶金
熔炼
PET 加工
制药
变压器 干燥
请联系 Edwards，探讨 如何利用我们种类丰富的真空解决方案满足您的需求、提高生产效率以及 减少成本。
机械真空泵常见的故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上，其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化，密封失效，从而导致漏油。
解决办法：更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫，维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁。
抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。
应用
一般清洁泵送
电子扫描显微镜 (SEM)
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
先进的接口 提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现 远程控制/监视
泵系列
下一代完全无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽取速度更高的，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 泵可完全进行现场维修。
nXDS6i
nXDS10i
nXDS15i
nXDS20i
nXDS-C
真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项，希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项：
1、将多级泵运到现场，找平顶座时不必卸下水泵和电机；
2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上，在地脚螺钉附近垫上楔形铁，将顶座垫下约20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥浆之用；
3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度，找平先用水泥浆填充顶座，待水泥浆做先再检查一下水平度；
应用
半导体的目标应用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目标应用包括：
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔
主要特性和优势
针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。
符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。