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分子真空泵是在 1911 年由德国人 (w · Gaede) 盖德首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
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VARIAN TV551，Varian的分子泵几乎涵盖了所有可能的应用领域，瓦里安TV551，特有的机电一体化的设计，TV551维护，具有前级耐压高的特性，TV551，适用于10－10-10毫巴的真空环境！SplitFlow涡轮分子泵的抽速范围一般在690l/s到10l/s。
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美国瓦里安是世界上研究开发科学仪器和真空产品的先驱之一，总部设在美国加利福尼亚州的Palo Alto市，其产品广泛应用于生命科学、石油化工、环境保护等各种领域。作为quan球化学分析仪器的主要供应商之一
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安捷伦全系列分子泵Turbo系列维修的部分型号
Turbo-V81、Turbo-V 301、Turbo-V302、Turbo-V401 、Turbo-V550 、Turbo-V 551 、Turbo-V 701 、Turbo-V750、Turbo-V850、Turbo-V903、Turbo-V1000 、Turbo-V1001r、Turbo-V1K-G、Turbo-V2K-G 、Turbo-V3K-G 、Turbo-V 2300、Turbo-V6000
